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天水天光半导体有限责任公司节能系列器件产品研发及产业化项目
地址:天水天光半导体有限责任公司1号厂房
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项目描述:
天水天光半导体有限责任公司节能系列器件产品研发及产业化项目天水天光半导体有限责任公司1号厂房天水天光半导体有限责任公司核工业二〇三研究所改造1号生产厂房和对原有功率器件生产线及工艺技术进行改造,购置光刻机、电子束蒸发台、多轨道显影台、全自动压焊台、超声波清洗机等设备及仪表、仪器和辅助设施,从设计、研发、芯片制造和封装,实现节能系列器件产品产业化,节能系列器件产品年生产能力为25亿只。项目总投资5800万元,其中环保投资2万元。(一)建设期设备安装过程中产生的生活污水经厂区化粪池处理后进市政污水管网排入天水市污水处理厂秦州分厂处理;厂区1#车间内设备安装焊接、切割产生烟尘等,通过厂房设置的排风扇排出;废塑料管、废钢管等安装废料,经分类收集后外售;生活垃圾定点收集,定期清运。(二)运行期1.废水:芯片加工清洗含酸废水、封装划片清洗废水、高纯水制备反冲洗浓水进厂区沉淀池,达到《污水综合排放标准》(GB8978-1996)三级标准后排入市政污水管网集中处置。2.废气:项目产生有机废气依托存储器及超大规模集成电路生产能力建设项目新建的活性炭吸附箱处理;酸性废气依托厂房现有喷淋吸收塔处理;外排污染物浓度须达到《大气污染物综合排放标准》表2中排放限值要求。3.噪声:各类设备产生的噪声,须满足《工业企业厂界环境噪声排放标准》(GB12348-2008)中2类标准的要求。4.固体废物:生产过程中产生的一般固体废物集中收集回收利用;光刻工序产生的废光刻胶及废显影液、测试工序产生的不合格品及活性炭吸附箱内废活性炭等危险废物统一收集,设置临时贮存场,临时贮存场须满足《危险废物贮存污染控制标准》(GB18597-2001)要求;建立收贮台账,定期交有资质的单位处理。若不能处置,应及时向环保部门申请延期贮存。生活垃圾定点收集,由环卫部门统一清运至生活垃圾填埋场。
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