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合肥彩虹蓝光-北京大学宽禁带半导体协同创新中心项目
地址:合肥新站高新技术产业开发区
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项目描述:
合肥彩虹蓝光-北京大学宽禁带半导体协同创新中心项目合肥新站高新技术产业开发区合肥彩虹蓝光科技有限公司安徽皖欣环境科技有限公司拟建项目位于合肥新站高新技术产业开发区天水路与万罗山路交口合肥彩虹蓝光科技有限公司厂区内,总投资16100万元,属技改项目,主要技改内容为依托现有外延厂房A(102)内的4条芯片生产工艺线,利用光效提升设备实验验证,开发4条液晶背光LED芯片实验线;依托外延厂房B(103)内的2条蓝绿光工艺线,改造现有MOCVD设备为专用高温MOCVD设备,开发1条深紫外LED实验线、1条6吋Si衬底上GaN基电力电子材料实验线;依托芯片厂房A(101)内的6条工艺线,进行实验研发及产业化生产。辅助工程、公用工程、储运工程均依托现有。项目建成后将形成年产液晶背光LED芯片24万片、深紫外LED芯片6万片及6吋Si衬底上GaN基电力电子材料0.9万片的生产能力,同步减少原有产品36万片/年。该项目于2016年9月18日经合肥新站高新技术产业开发区经贸发展局以合新经【2016】46号予以备案。严格落实环评文件中对现有工程存在的环境问题提出的整改措施。项目排水实施雨污分流,生产废水实行分类收集、分质处理,依据环评文件分析,项目不新增废水类型,依托现有污水处理站处理可行。严格落实废气污染防治措施。项目产生的废气主要为酸雾、有机废气、氮化镓外延废气、干法刻蚀废气及PECVD废气。依据环评文件分析,项目不新增废气类型,废气依托合肥彩虹蓝光科技有限公司现有处理设施分类处理可行。其中酸雾经酸雾洗涤塔处理后由20米高排气筒排放;有机废气经低温等离子有机废气净化装置处理后由20米高排气筒排放;外延废气经氨气回收系统+水洗涤净化处理后由20米高排气筒排放;刻蚀废气经湿法尾气处理器+酸雾洗涤塔净化处理后由20米高排气筒排放;PECVD废气经电加热水洗式废气处理器+酸雾洗涤塔净化处理后由20米高排气筒排放。优先选用低噪声设备,对产生高噪声的设备进行合理布局,并采取必要的减振降噪处理,确保厂界噪声达标排放。对固体废物进行分类收集、处置。废BOE液、废有机溶剂、废光刻胶、废酸等危险废物应按规范妥善储存,及时交送具备资质的废物处置单位进行无害化处理;不合格产品由生产厂家回收;生活垃圾由环卫部门及时清运。有关本项目的其他环境影响的减缓措施,按环评文件要求认真落实。
销邦互助内容
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