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项目描述:
增资建设12英寸集成电路芯片生产线项目项目调整项目内容:增资建设12英寸集成电路芯片生产线项目项目调整实施过程中,与原环评文件的内容有四点变更,主要为改变晶圆清洗方式,调整并增加清洗设备,增加硫酸、双氧水用量,相应增加废酸产生量。(2)为提高良品率,增加湿蚀刻过程中磷酸使用量。(3)Wet机台使用的硝酸废液增加废酸收集槽,收集后委托有资质单位处理。(4)新增风机一套,由原来6套改为6用1备(共7套),总风量不超过原环评48万立方米/小时。现针对以上变更重新评价。
中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
- 付**
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上海达恩贝拉环境科技发展有限公司
- 王**
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